半导体电子货架FOUP晶圆搬运智能管控

　　半导体晶圆制制流程复杂，整套出产流程包含几十道加工工序。FOUP 晶圆载盒需要正在电子货架、工艺设备之间频频流转，物料货位办理、批次逃踪间接影响晶圆出产良率。保守依托人工记实、人工查找 FOUP 的功课模式，曾经难以婚配半导体工场干净车间数字化办理的严苛要求。正在保守功课模式下，FOUP 存取搬运依托人工完成，批次、工序、货位消息依托人工登记，极易发生消息混合错记；人工寻找方针 FOUP 耗时久，搬运功课全体效率偏低；同时人工接触操做，还存正在晶圆被污染的风险，晦气于产物质量管控。正在半导体电子货架每个货位摆设 RFID读写器，当功课人员将FOUP放置到货架货位上，设备从动读取FOUP载盒上RFID标签内全数消息，FOUP载盒编号等环节数据，数据及时上传至上层办理平台同一处置。系统支撑联动货位灯，需要取出指定FOUP时，对应货位灯点亮，指导功课人员快速精准定位方针载盒，缩短找料时间。同时系统持续采集留存晶圆批次全量汗青数据，记实蚀刻周期、清洗次数、挪动记实，完整记实半导体产物挪动取加工全过程，便利开展质量逃踪取工艺管控。效率优化：实现从动化的货位识别取，简化清点、存取功课流程，缩短操做耗时，提拔车间搬运周转效率。平安性加强：采用非接触识别体例，削减人员取晶圆载具的间接接触，降低晶圆污染风险，保障晶圆出产质量。数字化升级：依托RFID落地晶圆精细化智能办理，打通仓储货架取上层系统的数据链，提拔产线协同效率，降低运营成本，帮力半导体系体例制数字化高质量成长。CK-S610 是一款基于射频识别手艺的低频 RFID 标签读卡器，读卡器工做频次134。2kHz。该读卡器支撑尺度 ModbusRTU和谈，便利用户使用到PLC等系统中。用户只需通过 RS485/RS232 通信接口发送领受数据便可完成标签的读取操做，无需理解复杂的射频通信和谈。读卡器自带 Auto-turning 从动调谐电，正在分歧中工做时能从动调理电参数，使外部对读卡距离的影响降到最小，进一步加强了本身的抗干扰能力， 具有领受活络度高、机能不变、靠得住性强等特点。 读卡器可普遍使用于物流，仓储办理，过程节制，机械臂坐点节制等范畴。